模具钢材含有较多的合金元素，蒸汽压较高的元素(如AL,Mn,Cr,Si,Pb,Zn，CU等)在真空中加热时易发生蒸发现像，所以要适当控制淬火加热时的真空度，以防止合金元素的挥发。尤其是含Cr高的钢种。

为减少加热模具钢材或零件因内外温差而产生的热效应和组织应力，对复杂的或大截面的模具零件要进行多次预热，而且，升温速度也不能太快，这是减少或防止变形的关键之一。

较大截面的气淬钢模具零件，应尽量在高压气淬炉内进行处理。如气冷速度不够要进行油淬时，必须采用气冷油淬工艺，以防油淬后工件表面出现白亮层组织。

真空淬火加热温度基本上可与盐浴加热和空气加热的温度相同或略低一些。但应注意，升温时工件升温速度远比炉温慢，故均温，保温时间视装炉情况，要适当延长。

装料的合理与否对热处理后质量关系很大，考虑到真空加热是以辐射为主，模具零件在炉内应放置适当，小零件需要用金属网分隔，使加热和冷却均匀。